CVD設備的scrubber的功能原理及其安裝位置

　　CVD設備scrubber的功能

　　CVD的系統scrubber首要上是專程為CVD的系統空氣辦理設置的傳動系統。CVD空氣平常含帶大量的顆粒肥料和不好辦理的未想法、爆出性、可燃性或致癌性混合氣體有機廢氣物。scrubber不是種專程為變少前后端分離辦理的煩惱和很可靠性而設置的傳動系統。能令用邊緣scrubber專用CVD的系統單臺或多臺計算機，

　　scrubber設備廢氣處理方式(處理廢氣原理)

　　scrubber設施設備進行進行處理廢液最主要用自燃型、進行加熱型、等陽離子型，洗水等步奏，通過時候有所差異采用的進行進行處理方法也有所差異。　　scrubber依照與眾的不同于的工藝設計形成與眾的不同于的廢氣;確定與眾的不同于的加工處理工藝!　　1、scrubber該機器有電熱處理型、氣體重、物理吸出型和等正離子體重。物理吸出型必須要 變更物理吸出桶，應用上去相對性超貴，但保護上去最便宜。　　2、一般來說，可能升溫洗水型，和可能食用洗水升溫再洗水型。SiH4在然燒后與SIO2影響。NH3與水影響提取結晶體。NF3、WF3、SIF4、C2F6的陰陽離子鍵在然燒完會加載，與水影響提取氟化氫。

　　scrubber設備的安裝位置

　　scrubber機 一般是重新安裝在機 抽真空度泵和的的廢氣減排總管中間。這種有毒的的廢氣由抽真空度泵抽至scrubber機 參與凈化處理，那么減排過來。