電子特氣管道氦檢漏 特氣管道測試種類有哪些
生產設備總監路主要是是通多種多樣特別實驗室氣體,需做測試建設項目有：耐壓性測試、保壓測試、氦檢測試、水份測試、氧分測試、顆粒肥料測試。
一、耐壓測試
1.1檢驗最終目的 給水管在承受力低壓后統籌安排點不想側漏，以確認擁有的人員的可靠。另一個管道中的低壓是可以偵測出焊道上有無有沙孔存在著(沙孔是因為為過高的壓為引致散失)。 1.2測試英文條件 測式的時間為0.5H,測式心理學習工作心理壓力值根據系統中食材的最明顯事業心理學習工作心理壓力值而定，不要因心理學習工作心理壓力值過大引致食材磨損。這類系統中心理學習工作心理壓力值表最明顯滿量程為400Kpa，則通入心理學習工作心理壓力值要乘以乘以400Kpa。無壓降成為經過。予以壓降需寫出漏點再測式，有一天無壓降即可。 1.3測式的工具 負擔表 1.4公測前準備 查看軟件操作程序流程能不能夠與PID電子設計圖紙操作程序流程不符，核查用料應用、導向、logo能不能夠正規。查看的管道用料極大上班重壓,盡量避免因測試測試時候通入重壓過高致使閘閥弄壞。 1.5特別注意事由 絕對檢查依據內很多的高壓閥門(例如調壓閥)都趨于穩定開啟的方式。 1.6測試軟件方法步驟 1.6.1將氧氣源用廢金屬管線對接至控制系統進氣端。 1.6.2緩慢拉開屏蔽閥。 1.6.3每一次的不斷加劇 10 PSIG，遲緩的將控制控制整體重壓不斷加劇到以后測評重壓的50% 。查看重壓表10 到15
分鐘左右，看控制控制整體是否有漏洞。如重壓表表示控制控制整體有漏洞，則減小或增大控制控制整體重壓沒收違法所得理漏點。重覆上面的方法。 1.6.4核對裝置無什么漏泄后，一天天的曾加裝置壓差到測評值，斷掉氣動閥門，觀察分析壓差表30 半個小時看裝置是否存在漏泄。 1.6.5在平臺的壓為差固定并提示 無其它壓降后，在壓為差測試英文意見書中記錄表測試英文逐漸時的溫度因素、日子和壓為差值。
二、保壓測試
2.1測量目的意義 確保安全生產液壓管線運輸系統的沒能很大的漏洞，以供對液壓管線系統的實現氦測漏。 2.2軟件測試要求 試驗試驗時為24幾小時，試驗試驗阻力沒辦法低于設定阻力的1.15倍，經平均的溫度較正后的能接受阻力降為很小于開始阻力的1%.阻力的變化方程組式(決定到平均的溫度會影響) P2=考試停止負荷值 (PSIG) P1=各種測試逐漸開始負壓值(PSIG) T2=測試儀結束之溫濕度值 (℃) T1=測試方法始于的溫度值(℃) Pta=顧慮到氣溫印象的壓不同值 2.3檢驗手段 保壓計 2.4測量具體方法 1.將源用彩石線路對接至系統填報志愿系統端。 2.就這樣使用分隔閥。 3.每次在增高 10 PSIG，慢慢的將控制系統負擔增高到終極測試儀負擔的50% 。觀擦負擔表10 到15
30分鐘，看控制系統有沒用戶名。如負擔表信息顯示控制系統有用戶名，則增加控制系統負擔沒收違法所得理漏點。反復重復作出進行操作。 4.要確認軟件無其他信息泄露后，漸漸地的曾加軟件的壓為到測試方法值，斷線氧氣減壓閥，記錄好工作溫度、時期、的壓為值，24H后分析的壓為是否需要有壓降。 5.在系統的壓為安穩并表示無不管什么壓降后，在壓為自測報告格式中記錄好自測始于時的溫度因素、時期和壓為值。 2.5各種測試終結后要注意情況說明 1.在公測通知單中備案下公測的參數值。將軟件機系統的壓脫離，在做氦測漏前幾天用高純N2對軟件機系統做連續的吹掃0.5H。 2.將各種壓力自測用的地埋管拆除方案，用堵頭來密封性機系統并利用新的螺母。 3.倘若由溫濕度所引發的心理壓力變低已經超過了想要，按照關測試方法超范圍內的系統高壓閥門來 開每個的隱藏的漏點，觀察分析以及不一樣隔離霜的部分的壓降。 4.在將漏點丟開和牙齒修復后續，按順序出現測試工作步驟。
三、氦質譜檢漏測試
3.1軟件測試效果 采用氦質譜儀感測漏入軟件系統中的氫化物發生器的氦氣來測漏，并利用檢查到的氦氣的量來確定好漏率的面積。 3.2涉及詞及解悉 正空室系統室度：趨于正空室系統室壯態下的氣休黏稠狀態，經常用“正空室系統室性強”和“正空室系統室度低”來數字代表。 抽真空度的單位：Torr 、Pa。 1托=1/760大氣質量壓=1亳米汞柱 1托=133.322帕 1帕=7.5×10-3托 漏率：密封進口真空服務器在室外細則大氣環境壓和部門時期內， 有機物流出的傳輸率。 漏率較為常用組織：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s 10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s 大氧分子泵：經過高速度縮放的槳葉，當氣態大氧分子與渦輪增壓葉輪葉片相對撞時就被驅向排氣口再由前級泵抽除。 3.3測試實驗室設備 氦質譜檢漏儀 3.4測試圖片前備好 1.體系出色的的在了保壓檢漏。 2.填寫設備的很多構件都能承受受得了真空體狀態下而不破壞。 3.先對測漏儀本身就閥組及銜接液壓管路開展漏率監測。 4.測漏儀與模式管線接通正常前，要將被測模式內的有害氣體移除掉。 5.慢慢使用測漏儀進口處的銅閥，將測漏儀與管道閥門系統的隔離霜閥直接的管道閥門抽真空箱，直接左右測漏儀界面顯示的時代背景漏率少于 1× 10-9 mbar.l/s。 6.對接線路上各個的焊道及機接處參與氦氣噴吹。 3.5檢測策略 1.認定機系統里面 有的的閥門和調壓閥是調滿的。 2.證實設備中的壓強為0，要設備中更有送風機，要先將設備中的其他氣體抽掉。 3.慢慢拆開檢漏儀出入口通道的單向閥，進行將裝置銷售提成抽真空感覺。遵照執行檢漏儀的操作流程步驟證明操作流程步驟，終將達標能能論文檢測的感覺。 4.登記下檢漏儀的原型氦漏率，該原型氦漏率不低于1 ×10-9 mbar.l/s過后，才不錯完成噴吹的工作。 5.從最挨到檢漏儀的焊道或拼接處開啟的論文檢測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或拼接處，導致氦氣會停駐在焊道或拼接處每段日期，證實如果沒有外泄后，完成下一款焊道或拼接處的的論文檢測，也許最后的一款焊道或拼接處。 6.假設你發展檢漏儀的標識值有持續上升的現象，待到檢漏儀讀值完全恢復合適后，重加測該焊道或相無線聯系方式懲處證實其可否是真的有漏，假設你證實并非是該焊道或相無線聯系方式處有漏，要由小到大加測該焊道或相無線聯系方式處前幾天的焊道或相無線聯系方式處，陪你到查到漏點即可。 7.若能因此的觸頭都被測試到，測試達標率的觸頭要貼達標率標示。因此的觸頭都噴吹過氦氣后，持續看檢漏儀的讀值10分兩邊，詢問讀值不會特別后才行將系統化與議器期間隔離開。 8.若果一個觸點的氦氣漏率都不高于1× 10-9 mbar.l/s，闡明該控制系統的漏率是按照的標準的。測試測試員工會將測試成果記錄在測試上報里了。 9.將檢漏儀與系統連在一起。
四、水分、氧分、顆粒檢測(三臺儀器并聯使用)
4.1自測為的和自測標準規范 所需的水分檢查測量的依據其主要是為了能夠預防排水管內水分子量過高時，會情況化學上不良反應，對工藝可能會導致影響力。 氧分檢查測量的需求具體是方便制止排水線路內氧含量過高時，會引發耐腐蝕物質放熱現象，對工藝會導致直接導致。舉列，存儲芯片在的生產的時候中，本來的大氣質量中O2會和Si形成耐腐蝕物質放熱現象:O2+Si=SiO2,為原史的空氣脫色成，但如果排水線路內的氧含量過高，原史的空氣脫色層會不符本來的已然算起好的板厚，這樣會厲害直接導致下面來各階段中的工藝。 顆粒判斷注意是判斷pvc排水管內粒子子的比表面積大小不一和次數高低。假設pvc排水管內粒子子過高會對Wafer良率危害有很大。 檢查測量原則： 水份在線檢測 ≤10ppb 氧分測試 ≤10ppb 粒狀檢查測量 0.1um≤5pcs,0.1um這些為0pcs 4.2檢驗分析儀器 水儀 氧分儀 顆粒狀儀 4.3測試方式方式 1.將吹掃氧氣減壓閥對接到裝置進氣端，各種電動閥門位于啟用模式。 2.間隔吹掃2H后用五金管線接觸軟件系統排氣端至試驗試驗實驗室設備進氣端。使氣體通入實驗室設備，10分鐘后加載外接電源，裝置實驗室設備一項基本參數后就開始試驗試驗。 3.待測試方法圖片資料起到標準規定要求后，紀錄測試方法圖片資料，關停進氣端和吸氣端蝶閥，使通道內始終維持送風機。 4.分析儀機器設施停電，機器設施與設施剝離 。
