電子特氣管道氦檢漏 特氣管道測試種類有哪些
裝置總監路常見是通各種各樣的特殊工種其他氣體,需做測量內容有：耐沖擊測量、保壓測量、氦論文檢測量、人體水分測量、氧分測量、顆粒肥料測量。
一、耐壓測試
1.1自測目的性 排水管道在承載進行髙壓后街接點也不會側漏，以為了確保每個者的人身安全。另一管線中的進行髙壓不錯偵測出焊道上需不需要有沙孔存在的(沙孔是因為為過高的阻力產生散失)。 1.2考試規范 測評時期為0.5H,測評壓差可以通過平臺中材質的比較大工作中壓差而定，減少因壓差過大造成材質弄壞。隨后平臺中壓差表比較大示值為400Kpa，則通入壓差要小于約等于約等于400Kpa。無壓降僅以可以通過。如不壓降需查找漏點直接測評，等你無壓降截止。 1.3測試英文輔助工具 的氣壓表 1.4檢驗前開始準備 進行查驗操作系統注意事項需不需要與PID圖子注意事項不符，審核物料型號查詢、目標方向、廣告需不需要合理的。進行查驗輸油管線物料較大 工作的壓,防范因試驗方式通入壓過高造成蝶閥丟失。 1.5關注要點 絕對測試區間內全部的的銅閥(涉及調壓閥)都存在開啟的感覺。 1.6各種測試技巧 1.6.1將安全閥用復合管道網連入至機系統進氣端。 1.6.2慢慢地打開文檔防曬隔離霜閥。 1.6.3每回增添 10 PSIG，極慢的將程序各種各種各種阻力增添到最中檢測各種各種各種阻力的50% 。留意各種各種各種電接點阻力表10 到15
分，看程序否有漏糞。如各種各種各種電接點阻力表展示程序有漏糞，則變大程序各種各種各種阻力并罰理漏點。重覆綜上所述方法。 1.6.4核實軟件系統性性無某些漏糞后，緩緩的增添軟件系統性性壓到測式值，斷掉安全閥，觀察動物壓表30 分鐘的英文看軟件系統性性有沒有漏糞。 1.6.5在平臺的學習壓強差平衡并現示無所有壓降后，在學習壓強差測試該報告中收錄測試逐漸時的溫度因素、時和學習壓強差值。
二、保壓測試
2.1測試依據 確認聚氨酯保溫管氣流輸送控制系統軟件沒有分明的用戶名，無誤對聚氨酯保溫管控制系統軟件展開氦測漏。 2.2測評游戲規則 試驗準確時間為24每小時，試驗阻力不要需小于的設計阻力的1.15倍，經環境環境溫度修復后的容許阻力降為面積不不低于進行阻力的1%.阻力的變化方程式式(充分擔憂環境環境溫度關系) P2=測試軟件完結阻力值 (PSIG) P1=測驗開始了壓為值(PSIG) T2=測試圖片結尾室溫值 (℃) T1=測試方法展開室溫值(℃) Pta=綜合取決于室溫反應的學習壓力轉變值 2.3測試儀機器 保壓計 2.4測試步驟 1.將安全閥用五金排水管道接連至系統的出入口端。 2.很快打開文檔防曬隔離霜閥。 3.只要不斷加強 10 PSIG，極慢的將機機體系壓差不斷加強到然后檢驗壓差的50% 。仔細觀察壓差表10 到15
幾分鐘，看機機體系有設外泄。如壓差表展示機機體系有外泄，則縮減機機體系壓差處以理漏點。去重復下列運營。 4.認可控制系統的無每透漏后，滿滿的擴大控制系統的經濟有心理壓力到各種測試值，斷線供氣，記錄查詢好濕度、周期、經濟有心理壓力值，24H后關察經濟有心理壓力是否是有壓降。 5.在裝置的氣壓平衡并凸顯無其中壓降后，在氣壓測試軟件英文情況匯報中收錄測試軟件英文已經開始時的溫暖、時候和氣壓值。 2.5測試圖片停止后要注意重大事項 1.在試驗報告書中記載下試驗的規格。將軟件化的重壓保持，在開始氦測漏很久用高純N2對軟件化開始快速的吹掃0.5H。 2.將有壓力測驗用的輸水管線拆除方案，用堵頭來密封性軟件系統并實用新的螺母。 3.假若由的溫度所吸引的水壓下調可超過了耍求，在啟用測試方法領域內的裝置蝶閥來 開因此的隱性漏點，觀察分析個個不同的要進行隔離部門的壓降。 4.在將漏點防護隔離和復原以后，反復重復以上測量步聚。
三、氦質譜檢漏測試
3.1檢驗目的意義 用氦質譜儀感測漏入軟件系統中的少量的氦氣來測漏，并按照論文檢測到的氦氣的量來知道漏率的面積大小。 3.2涉及到的專有名詞及解悉 蒸空度：仍處于蒸空的狀態下的空氣較稀方面，往往用“蒸空度提高”和“蒸空度低”來透露。 重力作用度企事業單位：Torr 、Pa。 1托=1/760細顆粒物壓=1毫米（mm）汞柱 1托=133.322帕 1帕=7.5×10-3托 漏率：通風真空度余地在受到基準典雅壓和企業精力內， 雜質漏糞的頻率。 漏率選用院校：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s 10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s 氧氧分子泵：在高速的拖動的水泵葉輪，當氣味氧氧分子與渦輪增壓葉尖相撞擊時就被驅向撒氣口再由前級泵抽除。 3.3測試方法實驗室設備 氦質譜檢漏儀 3.4考試前備好 1.機系統成就的的采用了保壓檢漏。 2.驗收系統軟件的各個零配件都能承受受得了真空環境程序而不磨損。 3.先對測漏儀本就閥組及對接壓縮空氣管來進行漏率查測。 4.測漏儀與軟件液壓管路接起前，要將被測軟件內的氣物盡情釋放掉。 5.漸漸開啟測漏儀出出入口的單向閥，將測漏儀與管線系統的隔開閥中的管線抽正空，直到測漏儀體現的視頻背景漏率降至 1× 10-9 mbar.l/s。 6.對鏈接線路上任何的焊道及機鏈接處進行氦氣噴吹。 3.5測試圖片方式 1.填寫機系統某種有的氣動閥門和調壓閥還是高畫質的。 2.核實軟件中的阻力為0，如果軟件中同時還有正壓力，要先將軟件中的汽體排掉。 3.徐徐的另存檢漏儀無線運營中心處的蝶閥，慢慢將控制系統提成真空環境形態。嚴格遵守檢漏儀的方法反映方法，終將超過行監測的形態。 4.的記錄下檢漏儀的時代背景圖案氦漏率，該時代背景圖案氦漏率高出1 ×10-9 mbar.l/s過后，才能能來進行噴吹任務。 5.從最較近檢漏儀的焊道或對接處現在開始查重，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或對接處，更加氦氣會停歇在焊道或對接處兩段時光，判斷不存在流出后，進行下兩個焊道或對接處的查重，到了最好兩個焊道或對接處。 6.要是會發現檢漏儀的警示值有增加的現象，待到檢漏儀讀值灰復常規后，再一次加測工具該焊道或銜接并處判定其有沒是否有漏，要是判定不會是該焊道或銜接處有漏，要逐一加測工具該焊道或銜接處前的焊道或銜接處，直至得到漏點到止。 7.隨后擁有的觸點都被在線的檢測到，在線的檢測優秀的觸點要貼優秀象征。擁有的觸點都噴吹過氦氣后，依然觀查檢漏儀的讀值10分種差不多，確定讀值無問題后才還可以將機系統與設備彼此分離處理開。 8.如所有常閉觸點的氦氣漏率都壓低1× 10-9 mbar.l/s，情況說明該體系的漏率是包含標準的。測試軟件職工還可以將測試導致收錄在測試報告模板里了。 9.將檢漏儀與系統性分不開。
四、水分、氧分、顆粒檢測(三臺儀器并聯使用)
4.1考試依據和考試規格 人體水分測試的意義重要是只為避免出現水管內水濃度過高時，會時有發生檢查是否想法，對生產工藝出現會影響。 氧分檢查的首要目的首要是成了防止出現pvc熱力管道內氧分量過高時，會發生的電學工業癥狀，對的生產工藝導致的決定。比如，集成ic在的生產的過程 中，本大氣磅礴中O2會和Si出現電學工業癥狀:O2+Si=SiO2,為最初的鈍化成，若是 pvc熱力管道內的氧分量過高，最初的鈍化層會高于本已是統計好的它的厚度，這樣會特別嚴重決定反駁來各周期的的生產工藝。 顆粒肥料的的檢測關鍵是的的檢測pvc通道內顆粒子的顆粒直徑有多少和數據有多少。假若pvc通道內顆粒子頻繁會對Wafer良率影響力大。 查測準則： 水量檢測工具 ≤10ppb 氧分監測 ≤10ppb 小粒檢查 0.1um≤5pcs,0.1um上述為0pcs 4.2試驗議器 水份儀 氧分儀 小粒儀 4.3測試軟件的方式 1.將吹掃源無線連接到平臺進氣端，很多蝶閥保持開放的狀態。 2.反復吹掃2H后用鋁合金管線連接方式系統吸氣端至測評實驗室設備進氣端。使氣體通入實驗室設備，10鐘頭后打開24v電源，放置實驗室設備某項性能指標后開始了測評。 3.待試驗數據報告信息可達到的標準特殊要求后，記錄表試驗數據報告信息，退出進氣端和排氣端電動閥門，使供水管道內實現正壓力。 4.公測機器環保設備斷掉電源，機器環保設備與環保設備提取。
