400-900-9093
產品名稱：
雙瓶全自動特氣柜
產品型號：
HSPGC150206
產品特點：
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400-900-9093
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深圳寶安松白路 創維數字大廈12樓
企業產品陳述：
雙瓶特氣柜(Gas
Cabinet)
名稱：雙瓶特氣柜
規格：雙工藝氣瓶，全自動
型號：HSPGC150206
■ 特氣柜尺寸：W850寬×D500深(shen)×H1800高(gao)
■ 外吹(chui)掃：PN2，1/4"MVCR接(jie)口
■ 抽真(zhen)空(kong)：GN2，1/4"MVCR接口
■ 氣動隔膜閥(fa)：CDA驅動，1/4"卡套接(jie)口
■ VENT排(pai)空管：1/2MVCR接口
■ 工藝氣體出(chu)口：2個，1/4"MVCR接(jie)口
■ 盤面規格：1/4"盤面
■ 標準配(pei)備：自動切換，防爆(bao)防腐柜體，防爆(bao)自鎖門，防爆(bao)玻璃觀察窗，泄漏報(bao)警(jing)，遠程切斷，欠(qian)壓報(bao)警(jing)，主材SS316L
■ 柜(ju)體換氣(qi)(qi)量:OD100mm排氣(qi)(qi)口，SiH4-1200次(ci)(ci)/小時(shi)，其余300次(ci)(ci)/小時(shi)
■ 控(kong)制(zhi)柜尺(chi)寸：W850寬×D230深×H320高
■ 控制柜(ju)電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護
■ 操作界面：7"彩色觸摸屏
■ 選配(pei)：工(gong)藝(yi)氣瓶(ping)重(zhong)量監控器，工(gong)藝(yi)氣體超(chao)壓(ya)報警(jing)，盤面加熱及溫控裝置，報警(jing)信號手機短信與電話通知
常用標準：用途在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等搭配系統上，突顯于集成電路芯片半導體設備、光伏系統太陽什么能蓄電池、生物技術制藥項目、微網上新相關材料等領域。
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