雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱：雙瓶特氣柜

規格：雙工藝氣瓶，全自動

型號：HSPGC150206 

■ 特氣柜尺(chi)寸(cun)：W850寬×D500深×H1800高 

■ 外吹(chui)掃：PN2，1/4"MVCR接口 

■ 抽真空(kong)：GN2，1/4"MVCR接口(kou) 

■ 氣動隔膜閥：CDA驅動，1/4"卡(ka)套接口 

■ VENT排(pai)空管：1/2MVCR接口(kou) 

■ 工藝氣體出口：2個(ge)，1/4"MVCR接口 

■ 盤面(mian)規格：1/4"盤面(mian)

■ 標準配備(bei)：自動切換，防(fang)爆(bao)(bao)防(fang)腐柜體(ti)，防(fang)爆(bao)(bao)自鎖門，防(fang)爆(bao)(bao)玻璃觀察(cha)窗，泄漏(lou)報(bao)警，遠程(cheng)切斷，欠壓報(bao)警，主材(cai)SS316L

■ 柜體(ti)換氣量:OD100mm排(pai)氣口，SiH4-1200次/小時(shi)(shi)，其(qi)余300次/小時(shi)(shi) 

■ 控制柜尺(chi)寸：W850寬(kuan)×D230深×H320高 

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏(lou)電保護

■ 操作界面：7"彩(cai)色觸摸屏

■ 選配(pei)：工(gong)藝氣瓶重(zhong)量(liang)監控器(qi)，工(gong)藝氣體超壓報(bao)警(jing)，盤面加熱(re)及溫控裝(zhuang)置，報(bao)警(jing)信(xin)號手(shou)機短信(xin)與電話通知 

常用時間范圍：利用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等一體化系統上，集中體現于電源芯片半導體職業、光伏日頭能日頭能電池充電、生物工業生物制藥工業、微網絡新素材等職業。