一. SiH4氣味管路的技術規范要求 （蘋果手機爆炸、可燃類氣味）SiH4輸送地埋管用到雙鋼鋼套管接連形式，內管運用SS316L EP（電子廠磨光）不銹鐵管，外管用到SS316LBA不銹鐵管，三通管件插頭用到樣品雙套三通管件插頭，九十度彎頭為鋼鋼套管自行的焊接方法，內和外輸送地埋管接連用到自行的軌道組件氬弧焊；設施設備、閥體是無法蘭、卡套或螺距接連， 銷售終端隔閡閥用到VCR插頭；不銹保溫鋼管應所采用氬弧焊，為以防止水管壁上呈現陽極氧化膜及玦塵微粒侵襲，應通入經0.01μm～0.03μm濾過水器濾過水的是否干凈氬氣維護；水管聯系取消基礎施工時，應充高純Ar維護，管頭應用軟件泡沫塑膠管帽堵漏； 通道設備試壓法律規定及需要 1) 程度科學試驗：科學試驗負壓0.6Mpa，科學試驗導電介質為高純惰性氣體，30min內負壓不減為及格； 2) 縝密性進行調查：進行調查重壓0.5Mpa，進行調查物料為高純離氮氣，進行調查時間間隔24H，重壓不減為合理； 3) 氦監測試：試驗裝置物料為高純氦氣，流露率1*10-9 atm.cc/sec 二. NH3廢氣途徑的技術需求 （毒腐類廢氣）NH3排水管應用了SS316L EP（網上打磨拋光）不銹型鋼,三通線接頭管應用了的半成品三通線接頭管，大于等于1/2”90度九十度彎頭價格應用了的半成品90度九十度彎頭價格，小于等于1/2”90度九十度彎頭價格應用了不銹鋼彎管器建筑施工，排水管接入應用了自動發展軌道氬弧焊；機械設備、氣動閥門未能蘭、卡套或螺距接入；排水管一趟恒溫性比較好伴熱； 消費終端隔離膜閥應用了VCR線接頭； 不銹涂塑鋼管應分為氬弧焊，為阻止管網內部引發氧化反應膜及灰塵離子滲入，應通入經0.01μm～0.03μm凈化器凈化的凈化氬氣作保證區；管網接入暫停/開始工程作業時，應充Ar保證區，管頭應運泡沫塑料水管帽填塞； 3．地埋管平臺試壓的標準及的標準 1) 抗拉強度實驗室：實驗室學習氣壓0.6Mpa，實驗室有機溶劑為高純離氮氣，30min內學習氣壓不減為優秀率； 2) 進行嚴格的性調查報告：調查報告的阻力0.5Mpa，調查報告物質為高純氦氣，調查報告時候24H，的阻力沒降為合適； 3) 氦監測試：試驗臺有機溶劑為高純氦氣，外泄率1*10-9 atm.cc/sec