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高純氣體氣瓶架-高純氣體處理設備
高純氣態氣瓶架(GR) GR(Gas Rack)是只為提供微智能半導體設備工作、研發條件而裝修設計的有害氣體輸送管轉乘系統性。GR基本上由不銹鋼架子、管道閥門日線圖、管、把控好器等集中化在在一塊組成了。 GR需用于傳統有毒的氣體或惰性有毒的氣體的出售,是汽源一部分。 蓋斯帕克高純氣瓶架GR還有: 1、依據企業客戶原因的特別制定,下列安全性的裝備也許將集成型于GR ①GR有帶按紐進行操作的操作箱體,放上于腳手架搭設上方 ②就能夠暴露偵測。 ③與裝置抽瘋排凈裝置接入。 ④自吹掃體統。 ⑤有壓力偵測。 2、安裝程序氛圍: ①一般來說在惰性氣味氣瓶架,不便職工運營,瓦特連桿于墻面裝飾。 ②有效配電柜柜門電開關自如租房,禁止彎曲變化,取消不緊。 ③必定由專業的裝設員工通過裝設。 3、機系統搭建:GR是由氣瓶架和氣路顯示屏分解成 ①櫥柜柜門的主成: 冷庫保溫隔熱板的表層烤漆門板耐氧化柜體 ②Gas Manifold 有機廢氣氣體蓋板(要根據實際上實際需求將有增減):
RBGL | CV3 | F1-R |
HPDV | SPGR | F1-L |
HPCV | SPGL | F2-L |
PGIR | VPG | VG |
CV2 | DPGL | EFS |
蓋斯帕克的設計目標是要開發一條可以符合客戶性能,純度,易用度,易維護度以及系統集成度需求的最優級產品線。初看GR就可以發現許多已經實現了的設計目標。GR設計簡潔,每樣東西都能很方便的找到和操作。許多部件都組織在一起,以方便維護。無需開門,就可以看見和操作面板。蓋斯帕克所實現的,就是一個易于理解、易于使用、并且易于維護。