一、半導體/集成電路

蓋斯帕克長(chang)遠與集成型線路商家(jia)合(he)作協議，專門針(zhen)對發(fa)掘設計的(de)概念安裝使(shi)用的(de)高純的(de)EP級特氣(qi)柜、氣(qi)體分配(pei)柜廣泛用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、臥(wo)式儲罐(guan)物(wu)理(li)(li)化學(xue)(xue)氣(qi)相色譜儀淀積（APCVD）、低壓化學(xue)(xue)氣(qi)相淀積（LPCVD）、等離子體(ti)化學(xue)(xue)氣(qi)相淀積（PECVD）、濺射（PF）、光刻等半導體(ti)設備(bei)的供氣(qi)服務，同時還(huan)算征對(dui)各家工(gong)廠的實(shi)際特點，量身定制地開(kai)發了危險(xian)氣(qi)體(ti)監控管理(li)(li)系統（GDS），為廠家的安全生(sheng)產(chan)保駕護行。還(huan)相應開(kai)發了上(shang)述生(sheng)產(chan)設備(bei)的尾氣(qi)處理(li)(li)系統，保證了工(gong)廠廢氣(qi)的排放達標