400-900-9093
一、半導體/集成電路
蓋斯帕克經常(chang)性與(yu)集(ji)合電(dian)線工廠達成合作,專做建設構思安轉的(de)高純的(de)EP級(ji)特氣柜、氣體分配柜廣泛(fan)用于濕蝕刻(wet etching)、干(gan)蝕(shi)刻(dry etching)、自然(ran)壓物(wu)理化學氣(qi)相(xiang)色譜淀(dian)積(APCVD)、低壓化學氣(qi)相(xiang)淀(dian)積(LPCVD)、等離子(zi)體化學氣(qi)相(xiang)淀(dian)積(PECVD)、濺射(PF)、光刻等半導體設備(bei)的(de)(de)供氣(qi)服務,同(tong)時還算征對各(ge)家工廠(chang)的(de)(de)實(shi)際特點,量身(shen)定制地(di)開發了(le)危險氣(qi)體監控管理系統(GDS),為廠(chang)家的(de)(de)安全(quan)生(sheng)產保駕護行。還相(xiang)應開發了(le)上(shang)述(shu)生(sheng)產設備(bei)的(de)(de)尾氣(qi)處(chu)理系統,保證了(le)工廠(chang)廢(fei)氣(qi)的(de)(de)排(pai)放達標