名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

規格：一進多出

型號：HSPVMB130602 

■ 特氣柜尺寸：W550寬(kuan)×D500深(shen)×H600高 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工(gong)藝(yi)氣體(ti)：1進N出（N=2~9） 

■ 盤面規格(ge)：1/4"盤面

■ 標(biao)準配備：防(fang)(fang)(fang)爆(bao)防(fang)(fang)(fang)腐(fu)柜體(ti)，防(fang)(fang)(fang)爆(bao)自鎖門(men)，防(fang)(fang)(fang)爆(bao)玻璃(li)觀察窗，泄漏(lou)報警(jing)，主材SS316L

■ 箱體(ti)換氣量:4"排氣口，SiH4-1200次(ci)/小時(shi)，其余300次(ci)/小時(shi) 

■ 選(xuan)配(pei)：外吹(chui)掃，抽(chou)真空，全自動控(kong)制，工藝氣(qi)體超(chao)壓報(bao)警，遠程切斷，盤面加熱及溫(wen)控(kong)裝置(zhi)，泄漏報(bao)警，報(bao)警信號手機短信與電話通知(zhi) 

■ 適(shi)用范圍：應(ying)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機(ji)等配套設備上，適(shi)用于高校實(shi)驗室(shi)(shi)、材(cai)料(liao)分(fen)析實(shi)驗室(shi)(shi)、芯片(pian)半導體、光伏太陽(yang)能電池、生物醫藥工程、微電子新材(cai)料(liao)等行業。