名稱：閥門分配箱(Valves Manifold Box)

規格：一進多出

型號：HSPVMB130602 

■ 特氣(qi)柜尺(chi)寸：W550寬×D500深(shen)×H600高 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工(gong)藝氣(qi)體：1進(jin)N出（N=2~9） 

■ 盤(pan)面規格(ge)：1/4"盤(pan)面

■ 標準配(pei)備：防(fang)爆(bao)防(fang)腐(fu)柜體，防(fang)爆(bao)自鎖門，防(fang)爆(bao)玻璃觀(guan)察(cha)窗，泄漏(lou)報警，主材SS316L

■ 箱體換氣(qi)量(liang):4"排氣(qi)口，SiH4-1200次/小時(shi)，其余300次/小時(shi) 

■ 選配：外吹掃，抽真空，全自動控制，工藝(yi)氣體(ti)超(chao)壓(ya)報警，遠(yuan)程切斷(duan)，盤面加(jia)熱及(ji)溫控裝置，泄漏(lou)報警，報警信號手機短信與(yu)電話通知 

■ 適(shi)用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套(tao)設備上，適(shi)用于高校實驗室(shi)、材料分析(xi)實驗室(shi)、芯片半(ban)導體、光伏太(tai)陽能電池、生物(wu)醫(yi)藥(yao)工程、微電子新材料等行業。