名稱：閥門(men)分配箱(Valves Manifold Box)

　　規格：一進16出

　　型號：HSPVMB130616

　　■ 特氣柜長度：W550寬×D500深×H600高　　■ VENT放空管：1/2MVCR界面　　■ 工序混合氣體：1進N出(N=2~16)　　■ 股票股票盤面品種：1/4"股票股票盤面　　■ 規則增配：防燃型防污移門衣柜，防燃型自鎖門，防燃型鋼化玻璃觀察分析窗，液化氣泄漏報警功能，主材SS316L　　■ 外箱排風量: 4"改裝排氣管口，SiH4-1200次/每小時英文，此外300次/每小時英文　　■ 加配：外吹掃，抽真空環境，白動化操控，藝有害氣體背壓式汽輪機警報，遠程操作中斷，表盤蒸汽加熱及溫度控制器裝備，漏糞警報，警報電磁波安卓手機信息與點話通知怎么寫

　　適用范圍：應(ying)用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等(deng)配(pei)套設(she)備上，適(shi)用于(yu)高(gao)校實(shi)驗(yan)室(shi)、材(cai)料分析實(shi)驗(yan)室(shi)、芯片半導體、光伏太(tai)陽能電池、生物(wu)醫藥工程、微電子新材(cai)料等(deng)行業。