名稱：閥(fa)門分配箱(Valves Manifold Box)

　　規格：一進16出

　　型號：HSPVMB130616

　　■ 特氣柜長寬：W550寬×D500深×H600高　　■ VENT排掉管：1/2MVCR接口類型　　■ 工藝流程固體：1進N出(N=2~16)　　■ 股票股市k線圖外形尺寸：1/4"股票股市k線圖　　■ 標準人員配備：防燃防腐涂料柜身，防燃自鎖門，防燃鋼化玻璃查看窗，遺漏報警，主材SS316L　　■ 殼體排風量: 4"排氣管口，SiH4-1200次/幾半小時，其中300次/幾半小時　　■ 加裝：外吹掃，抽真空系統，全主動掌握，加工過程其他氣體超壓保護短信息提醒，遠戰掐斷，日線圖高溫及控溫提升裝置，漏洞短信息提醒，短信息提醒數字信號收集短信息與聯系方式通知單

　　適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于高校實驗室、材(cai)料分析(xi)實驗室、芯(xin)片半導體、光伏太陽(yang)能電池、生物(wu)醫藥工程、微電子(zi)新(xin)材(cai)料等行業(ye)。